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J-GLOBAL ID：200903003288132091

光表面レリーフ形成用感光性材料および感光性薄膜、並びにその感光性材料を用いたレリーフ形成方法

Inventor： 関 隆広 ,  市村 國宏 ,  是津 信行 ,  生方 俊
Applicant, Patent owner： 財団法人 理工学振興会
Agent (1)： 磯野 道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001282217
Publication number (International publication number)：2003082033
Application date： Sep. 17, 2001
Publication date： Mar. 19, 2003
Summary：

【要約】【課題】 レリーフの形成効率をより向上させるための高い感度を備え、かつ形成されたレリーフが熱的にも経時的にも安定であり、しかも各種の有機溶剤に対して化学的安定性を有する光表面レリーフ形成用感光性材料および感光性薄膜、並びにその感光性材料を用いるパターン形成方法を提供する。【解決手段】 一般式(1)で表されるアゾベンゼン誘導体から構成する。一般式(1)中、R1はアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン化アルキル基およびハロゲン化アルコキシ基の中から選ばれた1種であり、R2、R3はHまたはアルキル基であり、nは1以上の数であり、xは0 Claim (excerpt)：

一般式(1)【化1】(式(1)中、R1はアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン化アルキル基およびハロゲン化アルコキシ基の中から選ばれた1種であり、R2、R3は互いに独立してHまたはアルキル基であり、nは1以上の数であり、xは0 IPC (7)：

C08F220/36 ,  C08F220/12 ,  C08F220/28 ,  C08F290/06 ,  G03F 7/004 511 ,  G03F 7/004 521 ,  G03H 1/02

FI (7)：

C08F220/36 ,  C08F220/12 ,  C08F220/28 ,  C08F290/06 ,  G03F 7/004 511 ,  G03F 7/004 521 ,  G03H 1/02

F-Term (28)：

2H025AA01 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025BH05 ,  2H025FA03 ,  2K008AA04 ,  2K008BB01 ,  2K008BB04 ,  2K008DD12 ,  2K008DD14 ,  2K008FF13 ,  2K008HH06 ,  2K008HH18 ,  2K008HH25 ,  4J027AC03 ,  4J027AJ02 ,  4J027BA13 ,  4J027CB09 ,  4J027CD10 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA08P ,  4J100BA45Q ,  4J100BC43Q ,  4J100DA61 ,  4J100JA38