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J-GLOBAL ID：200903003289936488

露光装置

Inventor： 三輪 良則
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998057378
Publication number (International publication number)：1999243050
Application date： Feb. 24, 1998
Publication date： Sep. 07, 1999
Summary：

【要約】【課題】 光源の波長を変化させても、高精度な積算露光制御を可能とする。【解決手段】 レーザを光源とし該光源からの光を感光基板に照射する露光光学系と、前記感光基板への露光量を制御する露光量制御手段と、前記レーザの発振波長を所定の波長に変える波長可変手段とを備える露光装置において、前記感光基板に照射すべき目標露光量を前記レーザの発振波長に応じて補正する補正手段を設ける。

Claim 1：

レーザを光源とし該光源からの光を感光基板に照射する露光光学系と、前記感光基板への露光量を制御する露光量制御手段と、前記レーザの発振波長を所定の波長に変える波長可変手段とを備える露光装置において、前記感光基板に照射すべき目標露光量を前記レーザの発振波長に応じて補正する補正手段を設けたことを特徴とする露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521

FI (4)：

H01L 21/30 516 D ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 投影露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-032356   Applicant：株式会社ニコン