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J-GLOBAL ID：200903003293177710

電気光学効果を利用した電界分布測定装置

Inventor： 橋口 昇平
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992188659
Publication number (International publication number)：1994003375
Application date： Jun. 23, 1992
Publication date： Jan. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】 電気光学効果を利用した電界分布測定装置の小型化を図る。【構成】 半導体レーザー光源1から出射した直線偏光の光をコリメートレンズ2で平行光にした後、半透鏡3、1/8波長板4、対物レンズ5を介して電気光学プローブ6に導く。電気光学プローブ6で反射してきた光は、対物レンズ5、1/8波長板4を介し、半透鏡3から複屈折回折格子8へ導く。そして、この複屈折回折格子8で互いに直交する偏光成分を分離し、各偏光成分を受光素子9の所定の受光面9a、9b、9cに入射させる。【効果】 偏光成分を分離するのに複屈折回折格子を用いることにより、この光学素子の厚みを大きくしなくとも偏光成分の分離角を大きくすることができる。また、1/8波長板を光の往復路に配置することで、装置内の空間を有効に利用することができる。

Claim (excerpt)：

光源と、電気光学効果を有する材料からなり、電界分布を測定しようとする被測定部の近傍に配される測定子と、複数の検出面を有する光検出手段と、前記光源と前記測定子との間の光路中に配され、前記光源からの光を前記測定子の側へ透過するとともに、前記測定子で反射されてきた光を前記光検出手段へ導くべく反射するビームスプリッターと、このビームスプリッターと前記測定子との間の光路中に配された1/8波長板と、前記ビームスプリッターと前記光検出手段との間の光路中に配され、前記ビームスプリッターから入射した光の偏光成分を分離し、これらの分離された偏光成分を前記光検出手段の前記複数の検出面に夫々導く複屈折回折格子とを有することを特徴とする電界分布測定装置。

IPC (5)：

G01R 19/00 ,  G01R 15/07 ,  G01R 29/08 ,  G01R 31/302 ,  H01L 21/66