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J-GLOBAL ID:200903003303487080
ガス検出装置
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
前田 弘 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000145359
Publication number (International publication number):2001041916
Application date: May. 17, 2000
Publication date: Feb. 16, 2001
Summary:
【要約】【課題】検出の対象ガスの変化が小さい場合や、緩やかな場合であっても正確にガス濃度を検出し、更に、定常的に存在する微量ガスをも検出し、測定精度の向上及び測定の信頼性の向上を図る。【解決手段】チャンバ(40)の外部のガス濃度を検出するガスセンサ(20)を設けている。ガスセンサ(20)の基準値を較正するためにチャンバ(40)の内部空気を清浄にするための触媒(50)を設けている。チャンバ(40)内に清浄空気を生成するために触媒(50)を活性化するためのヒータ(60)を設けている。チャンバ(40)は、高熱伝導率材料の筒状に形成し、ヒータ(60)の熱により上昇ガス流を生じさせ、触媒(50)によって生成された清浄空気をガスセンサ(20)に導き、ガスセンサ(20)の基準値補正を行う。
Claim (excerpt):
チャンバ(40)の外部のガス濃度をセンサ(20)によって検出する一方、触媒(50)を活性化してチャンバ(40)の内部空気を清浄にし、該清浄空気をセンサ(20)に供給して該センサ(20)の基準値を較正するガス検出装置。
IPC (8):
G01N 27/04
, G01N 1/00
, G01N 1/00 102
, G01N 1/22
, G01N 1/28
, G01N 27/12
, G01N 27/416
, G01N 31/10
FI (9):
G01N 27/04 N
, G01N 1/00 C
, G01N 1/00 102 D
, G01N 1/22 L
, G01N 1/22 C
, G01N 27/12 A
, G01N 31/10
, G01N 1/28 K
, G01N 27/46 311 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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空調機器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-060692
Applicant:三菱電機株式会社
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特開平3-185348
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