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J-GLOBAL ID：200903003316265850

アクティブ磁場キャンセラ

Inventor： 安田 正志 ,  顧 榮榮
Applicant, Patent owner： 特許機器株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002141242
Publication number (International publication number)：2003332781
Application date： May. 16, 2002
Publication date： Nov. 21, 2003
Summary：

【要約】【課題】 磁気制御空間において広範囲にわたって良好な磁気シールド特性を有するアクティブ磁場キャンセラを提供する。【解決手段】 磁場制御空間11の両側に対向配置されたループコイル12A,12B及び、この各々に流す電流I1,I2を調節する電流調節手段13A,13Bからなる磁場形成部14を少なくとも一組と、上記磁場形成部14におけるループコイル12A,12Bのそれぞれの近くに配置された磁気センサ15A,15Bと、磁気センサ15A,15Bにより検出された磁気の強さを示す磁気信号を受けて、これに基づき電流調節手段13A,13Bに制御信号を出力し、ループコイル12A,12Bにおける電流を調節させることにより磁場制御空間11の磁場を制御するコントローラ16とからアクティブ磁場キャンセラ1が形成されている。

Claim (excerpt)：

磁場制御空間を挟んで対向配置され、この磁場制御空間を横切る一軸を中心軸とし、互いに独立した対をなす二つのループコイル及びこの内の一方のループコイルに流す電流を調節する一方の電流調節手段及び上記二つの内の他方のループコイルに流す電流を調節する他方の電流調節手段からなる少なくとも一組の磁場形成部と、上記二つのループコイルから等距離の上記中心軸上の点と上記一方のループコイルとの間に配置された一方の磁気センサと、上記点と上記他方のループコイルとの間に配置された他方の磁気センサと、上記両磁気センサから、これらにより検出された磁場の強さを示す検出信号を受けて、これに基づき、上記両電流調節手段に対して、上記磁場制御空間における磁場を打消す磁場を形成する電流を上記両ループコイルに生じさせるための制御信号を別個に出力するコントローラとを備えたことを特徴とするアクティブ磁場キャンセラ。

IPC (4)：

H05K 9/00 ,  G01R 33/02 ,  H01J 37/16 ,  H01L 21/027

FI (4)：

H05K 9/00 H ,  G01R 33/02 W ,  H01J 37/16 ,  H01L 21/30 541 Z

F-Term (6)：

2G017AB01 ,  2G017AC01 ,  2G017AC02 ,  2G017AD01 ,  5E321GG07 ,  5F056EA11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 磁気シールド装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-312473   Applicant：横河電機株式会社
• アクティブシールド装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-281311   Applicant：マグバン株式会社, 株式会社竹中工務店
• アクティブ磁気シールド装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-060095   Applicant：横河電機株式会社