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J-GLOBAL ID：200903003342875003

電析装置

Inventor： 荒尾 浩三 ,  園田 雄一 ,  宮本 祐介 ,  遠山 上
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 渡辺 敬介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998034445
Publication number (International publication number)：1999229192
Application date： Feb. 17, 1998
Publication date： Aug. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】 基板上にムラない一様な酸化膜を均一に電析することができ、太陽電池の反射層などに好適な酸化物膜を作成できる電析装置を可能にする。【解決手段】 電析浴中で基板1002とアノード電極1001とに通電して、基板1002上に酸化物を成膜する電析槽を備えている電析装置であって、アノード電極の幅1005が、対向する基板の幅1007と等しいか、あるいは大きく設定されている。

Claim (excerpt)：

電析浴中で基板とアノード電極とに通電して、基板上に酸化物を成膜する電析槽を備えている電析装置において、アノード電極の幅が、対向する基板の幅と等しいか、あるいは大きく設定されていることを特徴とする電析装置。

IPC (5)：

C25D 17/00 ,  C25D 9/04 ,  C25D 17/10 ,  C25D 17/12 ,  C25D 21/00

FI (5)：

C25D 17/00 A ,  C25D 9/04 ,  C25D 17/10 A ,  C25D 17/12 K ,  C25D 21/00 J