サブミクロン粒子の検出方法および装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：越場隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992056418
Publication number (International publication number)：1993215664
Application date： Feb. 06, 1992
Publication date： Aug. 24, 1993
Summary：

【要約】【目的】流体、特に純水、超純水中に不溶解物として存在するサブミクロンの不純物粒子の新規な検出方法と装置。【構成】コヒーレント光源(1) からの光ビームを集光(2) し、微粒子を含む流体の流れ(3) を集束された光ビームの焦点の近くを通過させ、流体中の微粒子によって回折された回折光を微粒子を含む流体の流れに対して光ビームの光源とは反対側の光ビームの光路上に配置した光検出器(4) によって検出して電気信号に変換し、この電気信号から流体中の微粒子の個数を計測する。【効果】簡単な構成で超純水中のサブミクロンの不純物粒子を検出できる。

Claim (excerpt)：

コヒーレント光源からの光ビームを集光し、微粒子を含む流体の流れを集束された光ビームの焦点の近くを通過させ、流体中の微粒子によって回折された回折光を微粒子を含む流体の流れに対して光ビームの光源とは反対側の光ビームの光路上に配置した光検出器によって検出して電気信号に変換し、この電気信号から流体中の微粒子の個数を計測することを特徴とするサブミクロン粒子の検出方法。

IPC (2)：

G01N 15/14 , G01N 15/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

特開昭61-288139
特開昭61-288139
特開昭62-044649

Show all

Return to Previous Page