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J-GLOBAL ID：200903003384302232
シリコンウエハの加熱装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
森 哲也 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995195433
Publication number (International publication number)：1997043211
Application date： Jul. 31, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：
【要約】【課題】吸着物質を気化させて脱着するためにシリコンウエハを加熱し、脱着成分を分析装置に向けて導出する装置において、クリーンルーム内での使用が可能なものを提供する。【手段】このシリコンウエハ加熱装置1は、箱状に形成された断熱容器2と、この断熱容器2の下部に配置されたシリコンウエハ収納容器3と、このシリコンウエハ収納容器3の下方に配置されたヒータ部材4とからなる。ヒータ部材4は、ヒータ固定部材41にシーズヒータ42を渦巻き状に固定したものである。シリコンウエハ収納容器3には、内部にキャリヤガスを導入するガス導入管6と、空間31aに溜まった脱着成分を分析装置に向けて導出するガス導出管8と、余分なキャリヤガスを外部に排出するガス排出管7が接続してある。
Claim (excerpt)：
シリコンウエハを所定温度に加熱することにより表面に吸着した物質を気化させて脱着し、脱着物質をキャリヤガスに同伴させて外部に導出するシリコンウエハの加熱装置において、断熱容器と、その内部に配置されたシリコンウエハ収納容器と、当該断熱容器内部に配置され且つ前記シリコンウエハ収納容器を加熱するシーズヒータとで構成され、前記断熱容器およびシリコンウエハ収納容器は、前記所定温度の加熱によってもガス状物が発生しない材質からなり、前記シリコンウエハ収納容器の内部寸法はシリコンウエハ収納時に当該容器内上部に空間が生じる大きさとし、前記シリコンウエハ収納容器には、前記キャリヤガスを内部に導入するガス導入管と、当該シリコンウエハ収納容器内の前記空間内の気体を断熱容器外に導出するガス導出管とを接続したことを特徴とするシリコンウエハの加熱装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 30/04 A
, G01N 1/22 R
