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J-GLOBAL ID：200903003385483753

光リソグラフィ-用石英ガラス、それを含む光学部材、 それを用いた露光装置、並びにその製造方法

Inventor： 平岩 弘之 ,  神保 宏樹 ,  小峯 典男
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996000808
Publication number (International publication number)：1996259255
Application date： Jan. 08, 1996
Publication date： Oct. 08, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 短波長でかつ高出力の紫外線やエキシマレーザ光を長期間照射しても透過率の低下を生じさせない、耐紫外線性の向上した石英ガラス光学部材を提供する。【解決手段】 400nm以下の波長帯域の光と共に使用される光リソグラフィー用石英ガラスであって、構造決定温度が1200K以下でかつOH基濃度が1000ppm以上である石英ガラス。

Claim (excerpt)：

400nm以下の波長帯域の光と共に使用される光リソグラフィ-用石英ガラスであって、構造決定温度が1200K以下でかつOH基濃度が1000ppm以上であることを特徴とする石英ガラス。

IPC (5)：

C03C 3/06 ,  C03B 8/04 ,  C03B 19/14 ,  C03B 20/00 ,  G02B 1/00

FI (5)：

C03C 3/06 ,  C03B 8/04 ,  C03B 19/14 ,  C03B 20/00 ,  G02B 1/00