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J-GLOBAL ID：200903003394528476

平行イオンビーム形成装置及び方法

Inventor： シドニー・イー・バットリル・ジュニア ,  アレックス・ブイ・モーデハイ
Applicant, Patent owner： バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 竹内 澄夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996143493
Publication number (International publication number)：1996329882
Application date： May. 15, 1996
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【課題】平行化したイオンビームを形成するための新規で,改良した方法と装置を提供する。【解決手段】飛行時間質量分析計は,四重極イオントラップを有するイオンビーム源を含む。平行イオンビームを形成するために,異なった極性の電圧パルスを同時にトラップの前方と後方のエンドキャップ電極に加えることにより,イオンをトラップの前方のエンドキャップ電極にある開口部を通してトラップの相互作用領域から同時に吸引し,パルス化する。

Claim (excerpt)：

平行イオンビームを形成する方法であって,開口部を有する第一のエンドキャップ電極及び第二のエンドキャップ電極を有するRFイオントラップの領域内にビームを形成するためにイオンを圧縮することと,第一及び第二のエンドキャップ電極に異なった極性の電圧を同時に加えることによって,開口部を通して領域からイオンを同時に吸引し,押し出すことと,を含み,イオンが領域から流れ,ビームが形成される,ところの平行イオンビームを形成する方法。

IPC (4)：

H01J 49/10 ,  H01J 49/34 ,  H01J 49/40 ,  G01N 27/62

FI (4)：

H01J 49/10 ,  H01J 49/34 ,  H01J 49/40 ,  G01N 27/62 K