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J-GLOBAL ID：200903003397015062
アクティブマトリクス型液晶表示装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
大胡 典夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996051683
Publication number (International publication number)：1997244065
Application date： Mar. 08, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：
【要約】【課題】 TFTを用いるアクティブマトリクス基板の開口率向上を図ると共に、画素電極とソース電極の接続不良による表示不良を防止し、更には、裏面露光技術を用いて画素電極を自己整合的にパターン形成する際のマスクの製造の簡素化を図りひいては製造コスト低減を図る。【解決手段】 ソース電極37、信号線38、ドレイン電極39、補助容量電極44を透明導電膜37a〜44aと金属膜37b〜44bの2重構造とする一方、第1及び第2のコンタクトホール42、52においては、ソース電極37及び補助容量電極44の金属膜37b、44bを除去して透明導電膜37a、44aのみの1重構造とし、開口率を低下する事なくコンタクトホール42、52のエリア拡大を可能とし、裏面露光時、1回の露光で、マスクパターン形成可能とする。
Claim (excerpt)：
透明な絶縁基板上に形成され、走査線により走査信号が供給されるゲート電極及び、このゲート電極上方にゲート絶縁膜を介して設けられ、活性領域を挾んでソース電極並びに信号線により映像信号が供給されるドレイン電極を備え、マトリクス状に配列される複数の薄膜トランジスタと、前記走査線及び前記信号線並びに前記薄膜トランジスタを被覆する絶縁性保護膜と、この絶縁性保護膜上にマトリクス状に配列され前記絶縁性保護膜に形成されるコンタクトホールを介し前記ソース電極に接続される画素電極とを有するアクティブマトリクス基板と、このアクティブマトリクス基板に対向され対向電極を有する対向基板と、前記アクティブマトリクス基板及び前記対向基板の間に封入される液晶組成物とを具備するアクテイブマトリクス型液晶表示装置において、少なくとも前記ソース電極が、透明導電膜及び金属膜を積層する2重構造である一方、前記コンタクトホール位置においては前記ソース電極が前記透明導電膜のみの1重構造である事を特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。
IPC (4)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/786
, H01L 21/336
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/78 616 K
, H01L 29/78 616 V
