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J-GLOBAL ID：200903003428169101

レビュー装置

Inventor： 兼子 久美 ,  飯泉 孝
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998270944
Publication number (International publication number)：2000097871
Application date： Sep. 25, 1998
Publication date： Apr. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】欠陥・異物の種類特定作業の容易化。【解決手段】本発明は、欠陥あるいは異物の種類ごとの代表的な画像とその分類情報を事前あるいは同時に電子情報として保存し、欠陥あるいは異物の分類作業時に操作画面に表示し保存画像と観察画像を比較して分類情報を決定するものである。

Claim (excerpt)：

試料の異常部の有無を検査する異常検出装置から試料の付属情報や異常部の座標位置,異常部の大きさが含まれた検査結果を取得する手段と、その検査結果に基づいて視野を前記試料の異常部存在領域に設定する視野設定手段と、異常部を観察する手段と、観察した画像を保存する手段と、観察した試料上の異常部に異常部判別情報を持たせる手段を有するレビュー装置において、異常部判別情報ごとの異常部参照画像リストと現在観察している試料の異常部像を同時に表示することを特徴とするレビュー装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 ,  G06T 7/00

FI (3)：

G01N 21/88 645 A ,  G01N 21/88 620 ,  G06F 15/62 405 A

F-Term (9)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051EC01 ,  2G051FA01 ,  5B057AA03 ,  5B057BA23 ,  5B057CD05 ,  5B057DA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 画像処理方法およびその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-259565   Applicant：オムロン株式会社