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J-GLOBAL ID：200903003436564567

表面弾性波素子

Inventor： 中幡 英章 ,  鹿田 真一 ,  八郷 昭広 ,  藤森 直治
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991248027
Publication number (International publication number)：1993090893
Application date： Sep. 26, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 表面弾性波の反射および散乱等を入射させ、表面弾性波の伝播損失を低減することのできる表面弾性波素子を提供する。【構成】 ダイヤモンド層2の一部を水素化処理などによって導電化することにより、くし型電極3を形成する。

Claim (excerpt)：

ダイヤモンド層と、ダイヤモンド層上に形成される圧電体薄膜と、特定の波長の表面弾性波を発生させこれを取出すための1対の電極とを備える表面弾性波素子において、前記電極の少なくとも一方が、前記ダイヤモンド層の一部を導電化処理することにより形成されていることを特徴とする、表面弾性波素子。

IPC (2)：

H03H 9/25 ,  H03H 9/145