ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小栗昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000265557
Publication number (International publication number)：2002072481
Application date： Sep. 01, 2000
Publication date： Mar. 12, 2002
Summary：

【要約】【課題】露光光源として、深紫外線、特にArFエキシマレーザー光を用いた場合、ラインエッジラフネス、レジスト形状、感度、解像力が優れるとともに、現像欠陥の問題を生じないポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(C)一分子中に少なくとも4つのフッ素原子を有し、炭素数が4から20で分子量が1000以下の脂肪族カルボン酸又は脂肪族ジカルボン酸、(D)含窒素塩基性化合物、及び(E)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(C)一分子中に少なくとも4つのフッ素原子を有し、炭素数が4から20で分子量が1000以下の脂肪族カルボン酸又は脂肪族ジカルボン酸、(D)含窒素塩基性化合物、及び(E)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (8)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08K 5/09 , C08K 5/16 , C08L101/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , H01L 21/027

FI (8)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08K 5/09 , C08K 5/16 , C08L101/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , H01L 21/30 502 R

F-Term (34)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J002BG071 , 4J002BK001 , 4J002CE001 , 4J002EF037 , 4J002EF067 , 4J002EN048 , 4J002EN068 , 4J002EN136 , 4J002EN138 , 4J002EU048 , 4J002EU068 , 4J002EV248 , 4J002EV296 , 4J002EW176 , 4J002FD319 , 4J002GP03

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