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J-GLOBAL ID：200903003440857498

電界放出陰極、画像表示装置、及び電界放出陰極の製造方法

Inventor： 森 三樹 ,  原 雄二郎 ,  山本 正彦 ,  福田 由美 ,  伊藤 剛 ,  斉藤 雅之 ,  福田 勝義 ,  浅井 博紀
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 外川 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999071169
Publication number (International publication number)：2000268702
Application date： Mar. 17, 1999
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】 エミッタを微粒子により形成するエミッタ部において、ゲート-エミッタ間の距離を近づけ、低い電圧で電界放出が得られる電界放出陰極を提供する。【解決手段】 カソード配線、エミッタ、層間絶縁膜、ゲート配線からなる電界放出陰極の構造において、エミッタを凹型の形状を有する構造とすることで、ゲート-エミッタ間の距離を近づける構造を得ることができる。また、層間絶縁膜を材質の異なる2 層とし、エミッタの高さを制御する。

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板表面に設けられたカソード配線と、前記基板上に設けられた層間絶縁膜と、前記カソード配線上の前記層間絶縁膜開口部内に設けられ、エミッションサイト粒子を含むエミッタ電極部と、前記層間絶縁膜上のゲート配線とを具備し、前記エミッタ電極部は周縁部に比べ中心部が凹形状をしていることを特徴とする電界放出陰極。

IPC (2)：

H01J 1/304 ,  H01J 9/02

FI (2)：

H01J 1/30 F ,  H01J 9/02 B