Pat
J-GLOBAL ID:200903003458319698

銅・銅合金材のための浸漬エッチング液

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 板井 一瓏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993191618
Publication number (International publication number):1995018472
Application date: Jul. 06, 1993
Publication date: Jan. 20, 1995
Summary:
【要約】【目的】 従来のエッチング液では黒色スマットを形成し表面清浄化が困難な銅合金材にも有効なエッチング液を提供する。【構成】 過酸化物または過酸塩、およびカルボン酸もしくはその水溶性塩を含有する、銅・銅合金材のための浸漬エッチング液。好ましくは、尿素およびそのN-置換誘導体、チオ尿素およびそのN-置換誘導体、グアニジンおよびそのN-置換誘導体からなる群から選ばれた脂肪族窒素化合物、ならびに、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコールおよびジプロピレングリコールからなる群から選ばれたアルキレングリコールのモノエーテルをさらに含有する。
Claim (excerpt):
過酸化物および過酸塩からなる群から選ばれた酸化剤およびカルボン酸もしくはその水溶性塩を含有することを特徴とする銅・銅合金材のための浸漬エッチング液。
IPC (2):
C23F 1/18 ,  H01L 21/308
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 特開昭61-000591
  • 特開平4-338692
  • 特公昭46-005041
Show all

Return to Previous Page