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J-GLOBAL ID：200903003462101141

耐プラズマ性部材およびその製造方法

Inventor： 市島 雅彦 ,  藤田 光広 ,  齋藤 秀一 ,  青木 克明 ,  西村 絵里子
Applicant, Patent owner： 東芝セラミックス株式会社 ,  株式会社東芝
Agent (1)： 松山 允之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000214198
Publication number (International publication number)：2002029830
Application date： Jul. 14, 2000
Publication date： Jan. 29, 2002
Summary：

【要約】【課題】 低圧高密度プラズマ曝露に対しても十分耐える耐プラズマ性部材およびその製造方法の提供。【解決手段】 耐プラズマ性部材の発明は、実質的にイットリウムアルミン酸ガーネット燒結体から成り、かつ表面粗さ(Ra)0.01μm以下におけるL*a*b*表色系での色差が70以上であることを特徴とする。製造方法の発明は、イットリウムアルミン酸ガーネット系成形体を仮焼・脱脂処理する工程と、前記仮焼・脱脂処理した成形体を真空燒結して結晶中の酸素イオンサイトに欠陥を導入し黒色化する工程と、前記黒色化させた燒結体を大気雰囲気中、1400〜1900°Cの温度で熱処理し結晶中の酸素欠陥イオンサイトに酸素を結合させて白色化する工程と、を有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

実質的にイットリウムアルミン酸ガーネット燒結体から成り、かつ表面粗さ(Ra)0.01μm以下におけるL*a*b*表色系での色差が70以上であることを特徴とする耐プラズマ性部材。

IPC (7)：

C04B 35/44 ,  C04B 35/64 ,  C04B 35/638 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46 ,  C23C 16/44

FI (7)：

C04B 35/44 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 B ,  C23C 16/44 B ,  C04B 35/64 M ,  C04B 35/64 301 ,  H01L 21/302 B

F-Term (21)：

4G031AA03 ,  4G031AA08 ,  4G031AA29 ,  4G031CA01 ,  4G031GA04 ,  4G031GA08 ,  4G031GA16 ,  4G031GA19 ,  4K030FA01 ,  4K030KA30 ,  4K030KA46 ,  5F004AA16 ,  5F004BB07 ,  5F004BB14 ,  5F004BB29 ,  5F045BB08 ,  5F045BB10 ,  5F045BB20 ,  5F045EB03 ,  5F045EC05 ,  5F045EM09