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J-GLOBAL ID：200903003468769365

物品供給装置

Inventor： 山本 眞
Applicant, Patent owner： 村田機械株式会社
Agent (2)： 塩入 明 ,  塩入 みか
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007004462
Publication number (International publication number)：2008172062
Application date： Jan. 12, 2007
Publication date： Jul. 24, 2008
Summary：

【構成】 天井走行車22はポッドバッファ16との間でポッド18をやりとりし、移載装置28付きの台車26でポッド18をバッファ16とロードポート14,15の間でやりとりする。ロードポート14,15からは、ソーター4,6でウェハーをポッド18から出し入れし、処理待ちや処理済みのウェーハをバッファ8,9で保管する。【効果】 処理装置を遊ばせずに、かつウェハーの処理順序やポッドへの組み合わせを適宜に変更できる。【選択図】 図2

Claim 1：

複数の物品を収容する容器から物品を取り出して、処理装置へ供給する装置であって、 容器を保管するための容器保管棚と、 容器から取り出した物品を保管するための物品保管棚と、 容器から物品を出し入れして、物品を容器と物品保管棚との間で搬送するための移載手段と、 前記移載手段と容器保管棚との間で容器を搬送するための搬送手段と、 物品保管棚から所要の物品を取り出して処理装置へ供給すると共に、処理装置からの物品を物品保管棚へ供給するための供給手段、とを設けたことを特徴とする、物品供給装置。

IPC (2)：

H01L 21/677 ,  B65G 1/00

FI (2)：

H01L21/68 A ,  B65G1/00 535

F-Term (21)：

3F022AA08 ,  3F022BB09 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022JJ11 ,  3F022KK01 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA19 ,  5F031GA57 ,  5F031GA60 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA06 ,  5F031PA02 ,  5F031PA05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 搬送システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-335703   Applicant：村田機械株式会社

Cited by examiner (1)

• 半導体製造装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-179611   Applicant：株式会社日立国際電気