Pat
J-GLOBAL ID：200903003469856458
情報読取り及び/又は入力装置
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
日比谷 征彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992176169
Publication number (International publication number)：1993342648
Application date： Jun. 10, 1992
Publication date： Dec. 24, 1993
Summary：
【要約】【目的】 より正確な情報の読取り及び/又は入力を行う。【構成】 高精度のXYステージ10の上に取り付けられたZ方向の粗動を行う粗動機構11により記録媒体12が支持され、記録媒体12に対向して白金製のプローブ電極16が、微動機構17により支持されている。基板電極14とプローブ電極16には電源18及びトンネル電流を検出しサーボ回路21とマイクロコンピュータ19に伝達するプローブ電流増幅器22が接続され、マイクロコンピュータ19が電源18に、またXY方向走査駆動回路20を介して微動機構17のXY方向駆動用の圧電素子に接続されており、サーボ回路21を介して微動機構17のZ方向駆動用の圧電素子に接続されている。サーボ回路21はトンネル電流が一定になるように微動機構17を制御する。XY方向走査駆動回路20は走査における折り返し点において角部が生じないようにプローブ電極16を駆動する。
Claim (excerpt)：
試料面に対向して配置したプローブを前記試料面に対して相対的に折り返し走査させながら、前記試料面からの情報読取り及び/又は前記試料面への情報入力を行う装置において、前記プローブを前記試料面に対して相対的に連続して折り返し走査させる駆動手段と、主として基本波及び5次以下の高調波によって構成される折り返し走査信号によって前記駆動手段を制御する制御手段とを設けたことを特徴とする情報読取り及び/又は入力装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
