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J-GLOBAL ID：200903003483359742

アダマンチルアルキルビニルエーテルの共重合体を含む感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物

Inventor：
崔 相 俊

About 崔 相 俊


Applicant, Patent owner：
三星電子株式会社

About 三星電子株式会社


Agent (6)： 八田 幹雄 ,  野上 敦 ,  奈良 泰男 ,  齋藤 悦子 ,  宇谷 勝幸 ,  藤井 敏史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003176840
Publication number (International publication number)：2004043807
Application date： Jun. 20, 2003
Publication date： Feb. 12, 2004
Summary：
【課題】製造コストが低く、かつ、乾式エッチングに対する耐性を十分に確保すると共に、下部膜質に対する優れた接着特性を有する感光性ポリマーを提供する。【解決手段】下記化学式1で示される共重合体を含むことを特徴とする感光性ポリマーにより上記課題は解決される。【化1】(式中、xは1〜4の整数であり、R1は水素原子またはメチル基であり、R2は酸により分解可能なC4〜C20の炭化水素基であり、p/(p+q+r)=0.1〜0.4、q/(p+q+r)=0.2〜0.5、r/(p+q+r)=0.1〜0.4である。)【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
下記化学式1で示される共重合体を含むことを特徴とする感光性ポリマー。
IPC (7)：
C08F220/10 ,  C08F216/16 ,  C08F222/06 ,  C08F232/04 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027
FI (7)：
C08F220/10 ,  C08F216/16 ,  C08F222/06 ,  C08F232/04 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
F-Term (37)：
2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB51 ,  2H025CB55 ,  2H025CB56 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AE09Q ,  4J100AK32P ,  4J100AL03R ,  4J100AL08R ,  4J100AR11S ,  4J100BA06R ,  4J100BA15S ,  4J100BC07R ,  4J100BC07S ,  4J100BC08R ,  4J100BC08S ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC09S ,  4J100BC53R ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA36 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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