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J-GLOBAL ID:200903003497263780

気体分析装置および気体分析方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 若林 忠
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996241943
Publication number (International publication number):1998090241
Application date: Sep. 12, 1996
Publication date: Apr. 10, 1998
Summary:
【要約】【課題】 清浄環境内の複数地点の切替え測定において、分析装置の部品点数の増大を抑え、かつ短い測定周期で良好な応答性を得られる気体分析装置および気体分析方法を提供する。【解決手段】 本発明の気体分析装置は、2台の気体採取装置を備える。送液ポンプ3、15は、それぞれ異なる拡散スクラバーに対して作動する。送液ポンプ15に接続されている拡散スクラバーが測定状態にあり、拡散スクラバーで吸収液に吸収された分析対象気体が濃縮aカラム14に捕捉され、イオンクロマトグラフ30により分析される。その間、送液ポンプ3に接続された他方の拡散スクラバーでは、予備運転が並行して実行される。これにより、メモリ効果による前の分析の影響を抑え、応答性を改善し、測定周期の短縮を図る。
Claim (excerpt):
試料気体中の分析対象気体を吸収液に捕集し、該分析対象気体を分析する気体分析装置において、分析対象気体を含む一部の気体のみを透過する気体透過膜チューブで作製される内管と、内部に前記内管が挿入された外管とを有し、一組のジョイントによって前記内管と前記外管を両端で保持し、前記内管内部に通ずる接続口と、前記内管と前記外管の間隙に通ずる接続口とをそれぞれ管の両端に有し、前記内管内あるいは前記内管と前記外管の間隙のいずれか一方の流路を前記吸収液の流路とし、他方の流路を前記試料気体の流路とする拡散スクラバー(10、20)と、前記拡散スクラバーの試料気体流路に接続され、前記拡散スクラバーに前記試料気体を送気するためのサンプリングポンプ(12、22)とを備えた気体採取装置2台と、一方の気体採取装置の拡散スクラバーに前記吸収液を送液するための送液ポンプ(3)と、他方の気体採取装置の拡散スクラバーに前記吸収液を送液し、該拡散スクラバーから流出した該吸収液を、分析対象気体の濃縮が可能な吸着材を充填した濃縮カラム(14)に導入するための送液ポンプ(15)と、送液ポンプ(3)に接続する気体採取装置と、送液ポンプ(15)に接続する気体採取装置とを切替えるための、流路切替バルブ(2)あるいはこれと同機能を有する流路切替え装置と、濃縮カラム(14)に捕捉された前記分析対象気体を検出する検出装置(33、35)と、濃縮カラム(14)へ前記吸収液を導入し前記分析対象気体を捕捉濃縮する流路と、濃縮カラム(14)に捕捉された前記分析対象気体を検出装置(33、35)に導入する流路とを切替えるための流路切替バルブ(11)あるいはこれと同機能を有する流路切替え装置と、からなることを特徴とする気体分析装置。
IPC (2):
G01N 30/06 ,  G01N 30/08
FI (2):
G01N 30/06 Z ,  G01N 30/08 L

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