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J-GLOBAL ID：200903003497882090

超小型流体素子及びその作製

Inventor：
ギュズマン,ギローム

About ギュズマン,ギローム

, 
テモン,ジャン-ピエール

About テモン,ジャン-ピエール


Applicant, Patent owner：
コーニング インコーポレイテッド

About コーニング インコーポレイテッド


Agent (2)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2003532965
Publication number (International publication number)：2005503923
Application date： Sep. 13, 2002
Publication date： Feb. 10, 2005
Summary：
発明は超小型流体素子及びその作製方法に関する。この超小型流体素子は、(サンドイッチ型の)特有の構造、超小型流体素子がつくられる材料(主として、ガラス、ガラスセラミック、セラミック)、および真空成形作業に基づく超小型流体素子の特定の作製方法の点で独創的である。超小型流体素子は微細構造体及び第1の基板を有する第1の集成体を備え、微細構造体は真空下で基板上に構築されて配置される。第2の集成体は第2の基板を有し、第2の基板は、第1の集成体が予備焼結された後に、微細構造体上に配置され、熱処理により微細構造体に固着されて、第1と第2の基板の間に少なくとも1つのリセスを画定する一体型の微細構造体を形成する。
Claim (excerpt)：
超小型流体素子において、 微細構造体及び第1の基板を有し、前記微細構造体が真空下で前記基板上に構築および配置される第1の集成体、及び 第2の基板を有する第2の集成体であって、前記第1の集成体が予備焼結された後に前記微細構造上に配置され、熱処理により前記微細構造に固着されて、前記第1の基板と前記第2の基板の間に少なくとも1つのリセスを画定する一体型の微細構造体を形成する第2の集成体、 を備えることを特徴とする超小型流体素子。
IPC (3)：
B01J19/00 ,  B81B1/00 ,  B81C5/00
FI (3)：
B01J19/00 321 ,  B81B1/00 ,  B81C5/00
F-Term (9)：
4G075AA39 ,  4G075BB05 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EE12 ,  4G075FA01 ,  4G075FA12 ,  4G075FB04 ,  4G075FB06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (5)
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