Pat

J-GLOBAL ID：200903003504933320

レーザ顕微鏡

Inventor： 黒岩 義典
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 井上 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997361665
Publication number (International publication number)：1999174332
Application date： Dec. 11, 1997
Publication date： Jul. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】 対象の照明波長のみを選択的にモニタすることができるレーザ顕微鏡を提供すること。【解決手段】 調光フィルタ3、23の後方に設けた参照光分離ミラー4により、調光された後のレーザパワーをモニタできるため、試料SPを照明するレーザパワーと光量モニタ用の強度検出器17の出力との相関が取れることになる。また、参照光分離ミラー4の後ろにレーザシャッタ5が配置されているので、レーザシャッタ5を閉じている状態でレーザパワーをモニタし、調光フィルタ3,23で照明用のレーザ光のレーザパワーを調整することが可能となる。複数のレーザ光源1、21からの複数波長のレーザパワーを同時にモニタする場合、波長選択装置26によって選択する参照光の波長を適当なタイミングで順次切り替える。選択された波長は、強度検出器17の出力とともに制御処理装置14でモニタされている。

Claim (excerpt)：

互いに波長が異なる複数のレーザ光を発生する光源と、前記光源からの前記複数のレーザ光を対物レンズを介して試料に照射する照明光学系と、前記複数のレーザ光の照射により前記試料から発する光を取得して試料像を得る観察光学系と、前記光源からの前記複数のレーザ光が前記試料に照射される前に当該複数のレーザ光の一部分を参照光として分割する分割装置と、前記分割装置で分割された前記参照光のうち所定波長成分の光を選択する波長選択装置と、前記波長選択装置で選択された前記所定波長成分の光の強度を検出する強度検出装置と、を備えることを特徴とするレーザ顕微鏡。