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J-GLOBAL ID:200903003512734540
高分解能顕微鏡、及び位相緩和時間測定法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
杉村 興作 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001318121
Publication number (International publication number):2003121334
Application date: Oct. 16, 2001
Publication date: Apr. 23, 2003
Summary:
【要約】【課題】 試料の非線形光学応答を高空間分解能及び高時間分解能で観測することのできる高分解能顕微鏡を提供する。【解決手段】 インコヒーレント光を発生させるインコヒーレント光源1と、前記インコヒーレント光を2つに分割するためのビームスプリッター7と、分割された一方のインコヒーレント光Aを時間的に遅延させるための光遅延回路20と、分割された他方のインコヒーレント光Bの光路長を周期的に変化させて、インコヒーレント光Bの遅延時間を制御するための光路長制御手段10と、インコヒーレント光A及びインコヒーレント光Bを重畳させて得たインコヒーレント重畳光を、近接場を介して測定すべき試料に照射するための光プローブ30とを具える。
Claim (excerpt):
インコヒーレント光を発生させるインコヒーレント光源と、前記インコヒーレント光を2つに分割するためのビームスプリッターと、分割された一方のインコヒーレント光を時間的に遅延させるための光遅延回路と、分割された他方のインコヒーレント光の光路長を周期的に変化させて、前記他方のインコヒーレント光の遅延時間を制御するための光路長制御手段と、前記分割された一方のインコヒーレント光及び前記分割された他方のインコヒーレント光を重畳させて得たインコヒーレント重畳光を、近接場を介して測定すべき試料に照射するための光プローブと、を具えることを特徴とする、高分解能顕微鏡。
IPC (3):
G01N 13/14
, G02B 26/06
, G02F 1/35
FI (3):
G01N 13/14 B
, G02B 26/06
, G02F 1/35
F-Term (9):
2H041AA23
, 2H041AB14
, 2H041AC08
, 2H041AZ02
, 2H041AZ05
, 2K002AA04
, 2K002AB14
, 2K002BA02
, 2K002HA13
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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走査型近接場光学顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-228540
Applicant:株式会社ニコン
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光学応答測定器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-211612
Applicant:日本電信電話株式会社
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特開平2-252123
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特開平4-132020
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光学応答速度測定器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-240270
Applicant:日本電信電話株式会社
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光エコー顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-284701
Applicant:株式会社ニコン
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光学的検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-123778
Applicant:株式会社ニコン
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走査型近視野原子間力顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-276708
Applicant:セイコー電子工業株式会社
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光学的検査方法および光学的検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-152382
Applicant:株式会社ニコン
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走査干渉計近視野共焦点顕微鏡
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2001-514618
Applicant:ゼテティック・インスティチュート
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