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J-GLOBAL ID：200903003517502680

X線反射鏡

Inventor： 中村 浩 ,  大谷 正之 ,  村上 勝彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991281862
Publication number (International publication number)：1993100097
Application date： Oct. 03, 1991
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 X線照射の熱によって多層膜の周期構造が変化しても、所定の波長のX線を反射させることができるX線反射鏡を得る。【構成】 可撓性を有するX線反射鏡の裏面にピエゾ素子を配設し、そのピエゾ素子に印加する電圧を制御することで、X線反射鏡の形状を変化させるようにした。

Claim (excerpt)：

可撓性を有するX線反射面と、前記X線反射面の裏面に配設されたピエゾ素子と、該ピエゾ素子に印加する電圧を変化させる電圧制御手段とを有することを特徴とするX線反射鏡。