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J-GLOBAL ID:200903003528038551

水分発生方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 福森 久夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992266383
Publication number (International publication number):1994115903
Application date: Oct. 05, 1992
Publication date: Apr. 26, 1994
Summary:
【要約】【目的】 ppt、ppbの低濃度から%オーダーの高濃度まで広い範囲でかつ多量の正確な濃度でかつの超高清浄度の水分の混合ガスが得られ、さらに、応答性が速く、保守も簡単な水分発生方法を提供することを目的とする。【構成】 水素と酸素を反応させ水分を発生させる方法において、水素、酸素およびイナートガスを混合し第一の混合ガスを作製する混合ガス作製工程と、水素および酸素をラジカル化し得る触媒作用を有する材料で構成された反応管内に該第一の混合ガスを導入するとともに該反応炉管内を加熱することにより該第一の混合ガスに含まれる水素と酸素を反応させ水を発生させる水分発生工程とからなることを特徴とする。
Claim (excerpt):
水素と酸素を反応させ水分を発生させる方法において、水素、酸素およびイナートガスを混合し第一の混合ガスを作製する混合ガス作製工程と、水素および酸素をラジカル化し得る触媒作用を有する材料で構成された反応管内に該第一の混合ガスを導入するとともに該反応炉管内を加熱することにより該第一の混合ガスに含まれる水素と酸素を反応させ水を発生させる水分発生工程とからなることを特徴とする水分発生方法。
IPC (2):
C01B 5/00 ,  G01N 1/00 102
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特許第3110465号
  • 特開昭61-197404

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