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J-GLOBAL ID：200903003529811556

ポジ型感光性組成物

Inventor： 青合 利明 ,  山中 司 ,  小久保 忠嘉
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993051222
Publication number (International publication number)：1994242608
Application date： Feb. 18, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 高感度、高解像力、及び良好なプロフアイルを持ち、経時による析出のない、3成分系化学増幅型のポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 ポジ型感光性組成物が、(a)ポリヒドロキシスチレン樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)第3級アルキルエステル基を有し、アルカリ水溶液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3000以下の低分子酸分解性溶解抑制化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、(i)第3級アルキルエステル基を少なくとも2個有し、該エステル基間の距離が、最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を10個以上経由する化合物、及び(ii)第3級アルキルエステル基を少なくとも3個有し、該エステル基間の距離が最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を9個以上経由する化合物、からなる群から選ばれた少なくとも1種、であることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

(a)ポリヒドロキシスチレン樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)第3級アルキルエステル基を有し、アルカリ水溶液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3000以下の低分子酸分解性溶解抑制化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、(i)第3級アルキルエステル基を少なくとも2個有し、該エステル基間の距離が、最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を10個以上経由する化合物、及び(ii)第3級アルキルエステル基を少なくとも3個有し、該エステル基間の距離が最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を9個以上経由する化合物、からなる群から選ばれた少なくとも1種であることを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (6)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027