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J-GLOBAL ID：200903003542461572

プローブ

Inventor： 鈴木 美彦 ,  中野 勝志
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998130164
Publication number (International publication number)：1999326349
Application date： May. 13, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高速な計測を可能とするカンチレバーを得る。【解決手段】原子間力顕微鏡用のプローブにおいて、カンチレバー11は、支持体10から探針12の方向へ向かって形成されたV溝14を有する。

Claim (excerpt)：

原子間力顕微鏡用のプローブにおいて、カンチレバーを厚み方向へ屈曲させて剛性を高めたことを特徴とするプローブ。