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J-GLOBAL ID：200903003551291868
被覆部材
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994139836
Publication number (International publication number)：1996003747
Application date： Jun. 22, 1994
Publication date： Jan. 09, 1996
Summary：
【要約】【目的】基体表面に被覆した炭化珪素膜の残留応力が低く、製造時、あるいは稼働時においてもクラック等が発生せず、超平滑面が再現性良く安定して得られ、長期信頼性に優れる。【構成】基体表面に被覆した炭化珪素膜の研磨面が、粒子径が3μm 以上の結晶で膜表面積の20%以上を占め、かつ炭化珪素膜の残留応力が、40kg/mm2 以下であること。
Claim (excerpt)：
基体表面に被覆した炭化珪素膜を表面研磨して成る被覆部材において、炭化珪素膜の研磨面に3μm 以上の粒子径を有する結晶が、膜表面積の20%以上を占め、かつ炭化珪素膜の残留応力が40kg/mm2 以下であることを特徴とする被覆部材。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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