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J-GLOBAL ID：200903003570525446

ディスク洗浄装置

Inventor： 石田 貴久 ,  市川 久賀 ,  野本 秀樹
Applicant, Patent owner： 日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 影井 俊次
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995201887
Publication number (International publication number)：1997029137
Application date： Jul. 17, 1995
Publication date： Feb. 04, 1997
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 単一の回転軸に装着した複数対からなるブラシによって複数のディスクを高精度に、しかも効率的に洗浄を行う。【解決手段】 駆動軸26にスプライン結合された回転軸25には、取付ブラケット23aがその両側に位置するのものの外側には、所定間隔でスライド板32a,32bがスプライン嵌合され、これらスライド板32a,32b間には、各シャフト33には、裏面側ブラシユニット24bを構成する取付ブラケット23bが固定的に取り付けられている。これら取付ブラケット23a,23bは、それぞれクランプ駆動手段40,50によって、ブラシ21a,21bが離間して、その間にディスク1を挿入できる非クランプ位置と、ブラシ21a,21bが近接して、ディスク1を両側から挾持して、所定の荷重でディスク1の表裏両面に押し付けられるクランプ位置とに変位可能となっている。

Claim (excerpt)：

ディスクの外周または内周をチャック手段によって少なくとも3点で自転可能にチャックさせた状態で、このディスクの表裏両面に外形が円形のブラシを当接させて、このブラシを回転させて、ディスクをこれに追従回転させながら、その表裏両面を擦動するようにしたものにおいて、前記ブラシは、それぞれ複数の表面擦動用ブラシと裏面擦動用ブラシとで構成され、各表面擦動用ブラシを回転軸に、また各裏面擦動用ブラシは回転軸の周囲に配置した複数本のシャフトに、それぞれ固定して設け、シャフトの両端を、回転軸に対して相対回転不能で、軸線方向に変位可能に嵌合させた一対のスライド部材に取り付け、また回転軸及び一方のスライド部材には、それらを軸線方向に変位させるクランプ駆動手段を連結する構成としたことを特徴とするディスク洗浄装置。

IPC (3)：

B05B 1/04 ,  G11B 5/84 ,  G11B 7/26

FI (3)：

B05B 1/04 ,  G11B 5/84 Z ,  G11B 7/26