Pat
J-GLOBAL ID:200903003573410917

熱硬化性樹脂溶液塗布工程用洗浄液

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995158042
Publication number (International publication number):1997013081
Application date: Jun. 23, 1995
Publication date: Jan. 14, 1997
Summary:
【要約】【構成】アルキレングルコール系アルキルエーテルアセテートとアルキレングルコール系モノアルキルエーテルを含有する熱硬化性樹脂溶液塗布工程用洗浄液である。【効果】本発明の熱硬化性樹脂溶液塗布工程用洗浄液はカラーフィルター作製におけるスピンナーでの保護膜形成塗布工程において、基板端部、基板裏面の自動洗浄、スピンナーカップ内自己洗浄、また塗液供給ラインの洗浄を同様洗浄液でプロセス適性良く実施することができ、さらにはアクリル樹脂やポリシロキサン樹脂、ポリイミドシロキサン樹脂等を併用する際の共通洗浄剤となるものである。
Claim (excerpt):
下記一般式(A)で示されるアルキレングルコール系アルキルエーテルアセテートおよび下記一般式(B)で示されるアルキレングルコール系モノアルキルエーテルを含有することを特徴とする熱硬化性樹脂溶液塗布工程用洗浄液。R1 O[R2 O]n COCH3 (A)R3 O[R4 O]m H (B)(ここでR1 、R3 は炭素数1〜5個のアルキル基であり、R2 、R4 は炭素数2〜5個のアルキレン基であり、n,mは1〜3個の整数である。)
IPC (3):
C11D 7/26 ,  B05D 1/40 ,  B05D 7/24 302
FI (3):
C11D 7/26 ,  B05D 1/40 A ,  B05D 7/24 302 P
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
Show all

Return to Previous Page