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J-GLOBAL ID:200903003581426890

透過型X線ターゲット

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 喜多 俊文 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001159784
Publication number (International publication number):2002352754
Application date: May. 29, 2001
Publication date: Dec. 06, 2002
Summary:
【要約】【課題】 薄い試料やX線吸収が少ない試料や微小試料について、コントラストのある鮮明なX線画像を得ることができる透過型X線ターゲットを提供する。【解決手段】 集束された電子ビーム1が、トリウムがドーブされたタングステン又はタングステンレニウム合金からなるCVD法で製作された蒸着ターゲット6に衝突する。X線透過窓基材としてセラミックのセラミック基材5あるいはガラス基材が用いられており、蒸着ターゲット6で発生したX線4は軟X線成分を減弱することなくセラミック基材5を透過する。また、蒸着ターゲット6で発生した熱はセラミック基材5から周辺に放散され、タングステン表面はトリウムの拡散によってあれることがなくX線放射効率の低下を低減することができる。
Claim (excerpt):
陰極のフィラメントから放出された電子を加速収束させて陽極側のX線透過窓基材上に設けられたターゲット金属に衝突させ、透過方向にX線を発生させるX線管の透過型X線ターゲットにおいて、前記X線透過窓基材にセラミックまたはガラスを用い、そのX線透過窓基材の内面に前記ターゲット金属を蒸着したことを特徴とする透過型X線ターゲット。
IPC (2):
H01J 35/08 ,  G21K 5/08
FI (2):
H01J 35/08 F ,  G21K 5/08 X

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