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J-GLOBAL ID：200903003584879771

反射防止膜が被覆された物品およびその製造方法

Inventor： 斉藤 靖弘 ,  浅井 貴弘 ,  猪又 宏之
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社
Agent (1)： 大野 精市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000077378
Publication number (International publication number)：2001264509
Application date： Mar. 21, 2000
Publication date： Sep. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】基体表面の反射率を低減する反射防止膜は、蒸着法等の方法により高屈折率の膜と低屈折率の膜を2層以上積層して被覆される。この方法は、高価な蒸着設備を必要とし、また複数の層を厚みの精度を厳密に制御して被覆しなければならないので、経済的に反射防止膜を被覆するのに不利であった。また、基体を加熱する必要があり、樹脂などの熱的に弱い基体には被覆することはできなかった。【解決手段】チタンフッ化アンモニウムを含みチタン酸化物の過飽和溶液とした第1の処理液と、珪ッ化アンモニウムを含み二酸化珪素の過飽和溶液とした第2の処理液を適当な比率で混合し、第1の処理液のチタンと第2の処理液の珪素の析出速度差を利用して、厚み方向に組成勾配を有するようにする。析出速度の差は、チタンと選択的にキレート化合物を形成するEDTAキレート化剤を処理液に添加することにより行う。反射防止膜の厚みは20〜150nmがよい。

Claim (excerpt)：

基体の少なくとも片側表面に反射防止膜が被覆された物品であって、前記反射防止膜は、前記基体表面から厚み方向外側にいくに従い低くなる屈折率傾斜を有し、かつ前記基体との界面における屈折率が前記基体の屈折率よりも高いことを特徴とする物品。

IPC (5)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02 103 ,  C03C 17/25 ,  C03C 17/34 ,  G09F 9/00 313

FI (5)：

B32B 7/02 103 ,  C03C 17/25 A ,  C03C 17/34 Z ,  G09F 9/00 313 ,  G02B 1/10 A

F-Term (44)：

2K009AA04 ,  2K009AA05 ,  2K009BB02 ,  2K009BB14 ,  2K009BB24 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009DD02 ,  2K009FF01 ,  4F100AA20B ,  4F100AA20C ,  4F100AA21B ,  4F100AA34B ,  4F100AG00 ,  4F100AT00 ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10C ,  4F100BA26 ,  4F100BA42B ,  4F100BA44B ,  4F100GB41 ,  4F100JN06 ,  4F100JN06B ,  4F100JN18 ,  4F100JN18B ,  4F100JN18C ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4G059AA01 ,  4G059AA11 ,  4G059AB01 ,  4G059AC04 ,  4G059EA04 ,  4G059EA05 ,  4G059EB05 ,  5G435AA01 ,  5G435AA04 ,  5G435AA17 ,  5G435FF02 ,  5G435HH02 ,  5G435HH03 ,  5G435KK07