Pat
J-GLOBAL ID:200903003586461952
回転角速度センサ
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
矢野 敏雄 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001289530
Publication number (International publication number):2002139323
Application date: Oct. 02, 1991
Publication date: May. 17, 2002
Summary:
【要約】【課題】 第1及び第2の層10,21を備えた多層式センサを有する回転角速度センサを改良して、第1の振動方向で大きな変向を行なうことができ、同時に妨害信号を惹起する横変向を著しく排除する。【解決手段】 第1の層が、主平面を有する単結晶シリコンのほぼ平らな支持体10であって、前記主平面の部分にチャージキャリア拡散11が形成されており、第2の層21が、ポリシリコンより成っていて、少なくとも1つの構造体部材30を有していて、該構造体部材30が、振動体として作動し、前記平らな支持体10の主平面に対して平行に向けられた少なくとも第1の方向1で振動運動するようになっており、前記チャージキャリア拡散11と前記振動体とが、前記支持体10の主平面に対して垂直な方向で、前記振動体30の測定運動を行う、コンデンサの各プレートを形成している。
Claim (excerpt):
第1及び第2の層(10,21)を備えた多層式センサを有する回転角速度センサであって、第1の層が、主平面を有する単結晶シリコンのほぼ平らな支持体(10)であって、前記主平面の部分にチャージキャリア拡散(11)が形成されており、第2の層(21)が、ポリシリコンより成っていて、少なくとも1つの構造体部材(30)を有していて、該構造体部材(30)が、振動体として作動し、前記平らな支持体(10)の主平面に対して平行に向けられた少なくとも第1の方向(1)で振動運動するようになっており、前記チャージキャリア拡散(11)と前記振動体とが、前記支持体(10)の主平面に対して垂直な方向で、前記振動体(30)の測定運動を行う、コンデンサの各プレートを形成している、ことを特徴とする、回転角速度センサ。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (8):
2F105AA02
, 2F105BB02
, 2F105BB03
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (18)
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特開昭60-113105
-
特開昭61-100627
-
特開昭61-139719
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特開昭57-160067
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特開昭62-093668
-
特開昭61-114123
-
特開昭60-113105
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特開昭61-100627
-
特開昭61-139719
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特開昭57-160067
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特開昭62-093668
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特開昭61-114123
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特開昭60-113105
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特開昭61-100627
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特開昭61-139719
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特開昭57-160067
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特開昭62-093668
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特開昭61-114123
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