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J-GLOBAL ID：200903003601799027

ウェハ検査装置

Inventor： 簑和 恭子 ,  武田 一男 ,  大倉 理 ,  松田 安司 ,  前嶋 宗郎 ,  松井 繁
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998163205
Publication number (International publication number)：1999354598
Application date： Jun. 11, 1998
Publication date： Dec. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】ウェハ内部の欠陥を検出する装置において、欠陥を検出した後、任意の位置にある欠陥を同定するためのTEM観察試料の作製を迅速かつ容易にする。【解決手段】レーザー光を照射してウェハの光散乱体からの散乱光を検出することによって欠陥の位置およびサイズを測定できるウェハ検査装置において、欠陥を検出した後にウェハ内の任意の位置にある欠陥に対して適当な位置にマークを施し、さらに、欠陥とマークとの相対距離を測定できる機能を備える。

Claim (excerpt)：

ウェハの光散乱体の位置を検出する装置において、ウェハ表面にマークを施す系と、光散乱体と上記マークとの相対距離を測定する測定系とを備えたことを特徴とするウェハ検査装置。

IPC (4)：

H01L 21/66 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88

FI (4)：

H01L 21/66 J ,  G01B 11/00 A ,  G01B 11/30 H ,  G01N 21/88 E