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J-GLOBAL ID：200903003610033720

洗浄方法および洗浄装置

Inventor： 稲田 実 ,  今城 康隆 ,  内野 正英
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝 ,  ジャパン・フィールド株式会社
Agent (1)： 須山 佐一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991150608
Publication number (International publication number)：1993245451
Application date： Jun. 21, 1991
Publication date： Sep. 24, 1993
Summary：

【要約】【目的】 環境等に対する悪影響を大幅に抑制した上で、フロン系溶剤による洗浄や蒸気乾燥と同等の洗浄効果を得ることによって、安全性を確保した超精密洗浄を可能にする。【構成】 被洗浄物1を洗浄する際に、被洗浄物1を洗浄、あるいはすすぎ洗浄した後に、被洗浄物1の表面に付着している洗浄剤あるいはすすぎ洗浄剤を、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤もしくはその蒸気で除去および乾燥する。または、洗浄物1の洗浄あるいはすすぎ洗浄を、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤もしくはその蒸気で行う。

Claim (excerpt)：

被洗浄物を洗浄剤を用いて洗浄するに際し、前記被洗浄物の洗浄、すすぎ洗浄あるいは乾燥をパーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤もしくはその蒸気で行うことを特徴とする洗浄方法。

IPC (3)：

B08B 3/08 ,  C23G 5/028 ,  C23G 5/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭57-116782
  
• 特開昭50-042200
  
• 特開昭57-047626