TYPE1の非線形結晶を用いた加工用レーザ装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長澤俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999195531
Publication number (International publication number)：2001021931
Application date： Jul. 09, 1999
Publication date： Jan. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】非線形光学結晶を用いて波長変換したレーザ光を出射する加工用レーザ装置においてレーザ光の出力パワーの変動を小さくすること。【解決手段】基本波レーザ光源11から出射される基本波が2倍波発生用の第1の非線形光学結晶13に入射し、非線形光学結晶13はその2倍波と基本波とを発生する。非線形光学結晶13から出射する基本波と2倍波は波長板20に入射する。波長板20は基本波の偏光方向を90°回転させ、基本波と2倍波の偏光方向を平行とする。波長板20から出射する偏光方向が平行な2倍波と基本波は、TYPE1の第2の非線形光学結晶13’に入射して波長変換され3倍波と基本波とが出射する。TYPE1の結晶はTYPE2の結晶より温度許容幅が大きいので、TYPE1の結晶のみを使用することにより、結晶に多少の温度変化が生じてもレーザ光の出力パワーの変動を小さくすることができる。

Claim (excerpt)：

非線形光学結晶により波長変換を行ない、紫外線レーザ光を発生するレーザ装置であって、基本波レーザ光を発振するレーザ発振器と、上記レーザ発振器からの基本波レーザ光を入射して、その2倍波を出射する第1のTYPE1の非線形光学結晶と、上記基本波レーザ光と上記2倍波の偏光方向を互いに平行とする波長板と、上記波長板を通過した、上記基本波レーザ光と上記2倍波とを入射して、基本波レーザ光の3倍波を出射する第2のTYPE1のLBO結晶とを備えたことを特徴とする加工用レーザ装置。

IPC (3)：

G02F 1/37 , B23K 26/06 , H01S 3/16

FI (3)：

G02F 1/37 , B23K 26/06 E , H01S 3/16

F-Term (23)：

2K002AA04 , 2K002AB12 , 2K002CA02 , 2K002HA20 , 4E068AF00 , 4E068CA04 , 4E068CB10 , 4E068CD08 , 4E068DA11 , 5F072AB02 , 5F072AB15 , 5F072FF09 , 5F072HH07 , 5F072JJ05 , 5F072KK12 , 5F072KK30 , 5F072QQ02 , 5F072QQ04 , 5F072RR05 , 5F072SS06 , 5F072TT05 , 5F072TT12 , 5F072YY06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

光高調波発生器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-344363 Applicant：浜松ホトニクス株式会社

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