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J-GLOBAL ID：200903003615576128

マトリクス型液晶表示素子

Inventor： 片岡 義晴 ,  田中 恵一 ,  岡本 昌也 ,  片山 幹雄
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995215040
Publication number (International publication number)：1997061848
Application date： Aug. 23, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】 マトリクス型液晶表示素子において、製造プロセスの複雑化を招くことなく、対向電極とソースバスライン,ソース電極,ドレイン電極との間での電流リークの発生を抑えることができ、良好な表示を得る。【解決手段】 表示基板上に形成されたデータ信号線(ソースバスライン)17,ソース電極17a,ドレイン電極17bの表面側部分をタンタルにより構成し、それぞれの表面領域を、該タンタルと、ガス状で成膜室に供給可能な非金属元素である窒素との化合物からなる絶縁性保護膜により被覆した。

Claim (excerpt)：

マトリクス状に配設された複数の絵素電極と、該絵素電極の各行に対応して設けられた複数の走査信号線と、該絵素電極の各列に対応して設けられた複数のデータ信号線と、該走査信号線とデータ信号線との交差部分に配置され、そのゲートが対応する走査信号線に、そのソースが対応するデータ信号線に接続され、そのドレインが対応する絵素電極に接続された薄膜トランジスタとを有する表示基板と、液晶を挟んで該絵素電極と対向するよう設けられた対向電極を有する対向基板とを備え、該表示基板上に形成されたデータ信号線あるいは走査信号線の表面を、該信号線を構成する金属元素とガス状で供給可能な非金属元素との化合物からなる絶縁性保護膜により被覆したマトリクス型液晶表示素子。

IPC (2)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 21/283

FI (2)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 21/283 C