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J-GLOBAL ID：200903003619310637
真空光学系
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
篠原 泰司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992242232
Publication number (International publication number)：1994094900
Application date： Sep. 10, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：
【要約】【目的】 真空容器の真空排気及び大気開放の前後において光学系のアライメントが狂わない、小型且つコンパクトな真空光学系を提供する。【構成】 真空容器(5,13;605;703,712)は、真空中に置かれるべき光学系部分を格納している。真空容器内に備えられた光学系載置部材(6,14;607;704,713)は、真空容器内の気圧変化に伴う真空容器の変形により真空容器に変位が生じても、光学系に伝達される変位量が光学系に要求される精度を越えない程度の変位量の小さい部分で支持されている。
Claim (excerpt)：
真空中で使用する光学系を格納する真空容器を備えた真空光学系において、前記真空容器内の気圧変化に伴う前記真空容器の変形により前記真空容器に変位が生じても前記光学系に伝達される変位量が前記光学系に要求される精度から定まる所定の変動誤差量を越えない程度の変位量の小さい部分で支持された、少なくとも前記光学系を載置した部材を前記真空容器内に備えていることを特徴とする真空光学系。
IPC (5)：
G21K 7/00
, G01N 23/00
, G02B 21/26
, H01L 21/027
, G01J 3/02
