シャドウマスクの製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997016383
Publication number (International publication number)：1998214562
Application date： Jan. 30, 1997
Publication date： Aug. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】シャドウマスクの製造方法において、早期に貫通孔の検査を精度良く行うことで、品質の良いシャドウマスクが得られ、また、資材の無駄の無いシャドウマスクの製造方法を提供する。【解決手段】金属素材表面に耐エッチング層を形成する工程と、金属素材を選択的に溶解除去し複数の貫通孔を形成するエッチング工程と、前記耐エッチング層の剥膜工程とを少なくとも有するシャドウマスクの製造方法において、貫通孔が形成された後、かつ剥膜工程前の金属素材に高圧水の噴射を行い、前記貫通孔部位の耐エッチング層の除去を行う手段と、貫通孔の孔径が所望のものであるか否かの検査を行う手段と、前記検査結果をもとに前記エッチング工程における金属素材へのエッチング条件を変更する手段とを具備し、貫通孔を所望の孔径に制御することを特徴とするシャドウマスクの製造方法。

Claim (excerpt)：

シャドウマスク金属素材表面に、少なくともフォトレジス膜からなる耐エッチング層を形成する工程と、フォトレジス膜より露出したシャドウマスク金属素材部位を溶解除去し複数の貫通孔を形成するエッチング工程と、前記耐エッチング層の剥膜工程とを少なくとも有するシャドウマスクの製造方法において、貫通孔が形成された後、かつ剥膜工程前のシャドウマスク金属素材に、ウォータージェットを用い高圧水の噴射を行い、前記貫通孔部位の耐エッチング層の除去を行う手段と、貫通孔の孔径が所望のものであるか否かの検査を行う手段と、前記検査結果をもとに前記エッチング工程におけるシャドウマスク金属素材へのエッチング条件を変更する手段とを具備し、貫通孔を所望の孔径に制御することを特徴とするシャドウマスクの製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開昭59-104478
金属薄板への微細透孔形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-270323 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社

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