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J-GLOBAL ID：200903003654858190

ポリシング装置

Inventor： 半田 幸樹
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 古谷 史旺 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996316167
Publication number (International publication number)：1998156703
Application date： Nov. 27, 1996
Publication date： Jun. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、回転テーブルの上面に設けられた研磨布に、研磨ヘッドの取付面に固定される被加工物を押圧してポリシングを行うポリシング装置に関し、簡易な構造でポリシングおよび研磨布の修正を同時に行うことを目的とする。【解決手段】 回転テーブルの上面に設けられた研磨布に、研磨ヘッドの取付面に固定される被加工物を押圧してポリシングを行うポリシング装置において、前記研磨ヘッドの取付面の外周にリング部材を配置し、前記リング部材の研磨布側となる面に砥粒を固着してなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

回転テーブルの上面に設けられた研磨布に、研磨ヘッドの取付面に固定される被加工物を押圧してポリシングを行うポリシング装置において、前記研磨ヘッドの取付面の外周にリング部材を配置し、前記リング部材の研磨布側となる面に砥粒を固着してなることを特徴とするポリシング装置。