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J-GLOBAL ID：200903003662553845

金属・プラスチックハイブリッドマスク及びその製造方法

Inventor： 下山 正 ,  谷口 義博
Applicant, Patent owner： 株式会社プロセス・ラボ・ミクロン
Agent (1)： 吉沢 敏夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997124713
Publication number (International publication number)：1998138657
Application date： Apr. 30, 1997
Publication date： May. 26, 1998
Summary：

【要約】【課題】 クリームハンダの抜け性がよく、寸法精度、連続印刷性、密着性の優れた金属・プラスチックハイブリッドマスクを提供する。【解決手段】 プラスチック基板に少なくとも1種の金属が積層され、積層体全体を通してフットプリント形状の開口部を有することを特徴とする金属・プラスチックハイブリッドマスクであって、両面に金属が積層されたプラスチック基板の両面にフォトレジスト層を形成した後、UVリソグラフィー法により両面にレジストパターンを形成して、金属層を露出させ、次に露出した金属層をエッチング除去した後、さらにプラスチックエッチャントでプラスチック層をエッチング除去して全層を通して開口部を形成した後、片面の金属を剥離して製造される。

Claim (excerpt)：

プラスチック基板に少なくとも実質的に1種の金属が積層され、積層体全体を通してフットプリント状の開口部を有していることを特徴とする金属・プラスチックハイブリッドマスク。

IPC (3)：

B41N 1/24 ,  B41C 1/14 101 ,  H05K 3/34 505

FI (3)：

B41N 1/24 ,  B41C 1/14 101 ,  H05K 3/34 505 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭61-081692
  
• スクリーン印刷用マスク及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-010309   Applicant：富士通株式会社
• メタルマスク及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-151648   Applicant：ローム株式会社
• スクリーン及びこれを用いた印刷方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-296687   Applicant：ソニー株式会社