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J-GLOBAL ID：200903003670357400

感光性組成物

Inventor： 川村 浩一 ,  小林 史和 ,  山中 司
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993169032
Publication number (International publication number)：1995028245
Application date： Jul. 08, 1993
Publication date： Jan. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、安全性、熱安定性及び製造適性に優れた光分解性化合物を含有する新規な感光性組成物を提供することを目的とする。【構成】 本発明は、下記一般式(I) で示されるスルホンイミド化合物を含有する感光性組成物である。R1 -SO2 -NR3 -SO2 -R2(式中、R1 、R2 およびR3 は、各々独立して芳香族基、置換芳香族基、ヘテロ芳香族基、置換ヘテロ芳香族基、アルキル基又は置換アルキル基を表わす。)

Claim (excerpt)：

下記一般式(I) で示されるスルホンイミド化合物を含有する感光性組成物。R1 -SO2 -NR3 -SO2 -R2 (I)(式中、R1 、R2 およびR3 は、各々独立して芳香族基、置換芳香族基、アルキル基又は置換アルキル基を表わす。)

IPC (7)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 507 ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027