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J-GLOBAL ID：200903003695489468

プローブとプローブ製造方法及び走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 村松 宏 ,  山本 典孝 ,  千葉 徳男 ,  中島 邦雄
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996340068
Publication number (International publication number)：1998104244
Application date： Dec. 19, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】 高分解能の走査型プローブ顕微鏡を実現するために、プローブの弾性機能部のバネ定数を小さくする。【解決手段】 プローブの先端は尖鋭化され、基部5と弾性機能部4との境界の段差部6はテーパー状に成形されている。弾性機能部4の直径は基部5の直径より細く形成され、また弾性機能部4の一部はくびれ状に形成されている。またプローブ材料は光ファイバーであり、光を伝搬するコア部2と屈折率の異なるクラッド部3からなり、その先端の透過孔を除く部分は金属膜被覆7で被覆されている構成である。

Claim (excerpt)：

尖鋭な先端部と先端部近傍に弾性機能部を有する原子間力検出に基づく表面走査用のプローブであり、前記弾性的機能を有する部分がこの弾性機能部を支持する基部と一体に形成され、この弾性機能部の外形が前記基部の外形より細く形成されていることを特徴とするプローブ。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30

FI (3)：

G01N 37/00 E ,  G01N 37/00 G ,  G01B 11/30 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 振れセンサを組み込んだカンチレバー
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平9-511012   Applicant：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン