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J-GLOBAL ID：200903003696625446

光学素子の重ね合わせ装置

Inventor： 浅野 武史
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 藤島 洋一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997002349
Publication number (International publication number)：1998197838
Application date： Jan. 09, 1997
Publication date： Jul. 31, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 駆動基板と対向基板とを貼り合わせる際に、2つの位置合わせマーク間の距離が大きくても迅速に精度良く重ね合わせを行うことができる光学素子の重ね合わせ装置を提供する。【解決手段】 コイル127a,127bに交番電流が流されると、レンズホルダ125に対して上下動の力が働き、光学レンズ122が第1の位置にきたときには顕微鏡の焦点は対向基板11A側の位置合わせマークA1 に合う。一方第2の位置にきたときには駆動基板11B側の位置合わせマークB1 に合う。これら位置合わせマークA1 ,B1 の画像はビデオカメラ13からモニタ上に第1の画像,第2の画像として出力される。モニタ上に第2の画像が出力されるときに、第1の画像の残像現象により2つの基板11A,11Bに形成された位置合わせマークA1 ,B1 をあたかも同時に観察しているかのように認識することができる。

Claim 1：

第1の位置合わせマークが形成された第1の基板と、この第1の基板に対して重ね合わせの基準となる第2の位置合わせマークが形成された第2の基板とを所定の間隙を保持した状態で、第1の位置合わせマークおよび第2の位置合わせマークを基準にして第1の基板と第2の基板とを相対的に移動させることにより2つの基板を重ね合わせる重ね合わせ装置において、前記第1の位置合わせマークに対して焦点が合う第1の位置と第2の位置合わせマークに対して焦点が合う第2の位置との間で光軸方向にそって変位可能な光学レンズ、およびこの光学レンズを第1の位置と第2の位置との間において往復駆動させるための駆動手段を含み、前記光学レンズにより第1の位置合わせマークおよび第2の位置合わせマークそれぞれの鮮明画像を個別に形成する鮮明画像形成手段と、この鮮明画像形成手段により形成された第1の位置合わせマークおよび第2の位置合わせマークについての画像を取り込み、それぞれ画像信号に変換する画像入力手段と、この画像入力手段から出力された第1の位置合わせマークおよび第2の位置合わせマークについての2つの画像を表示する画像表示手段とを備えたことを特徴とする光学素子の重ね合わせ装置。

IPC (2)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339 505

FI (2)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339 505