Pat

J-GLOBAL ID：200903003706099748

誘導結合プラズマ発生装置

Inventor： 飛田 貴光 ,  西垂水 剛
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999372680
Publication number (International publication number)：2001183297
Application date： Dec. 28, 1999
Publication date： Jul. 06, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】安価で出力電圧が低いイグナイタでも確実にプラズマ点火が可能な誘導結合プラズマ発生装置を提供する。【解決手段】高周波発生部1,トーチ管3,出力コイル2,イグナイタ5,イグナイタ5からの電圧が印加される高電圧側電極6を備えた誘導結合プラズマ発生装置において、前記高電圧側電極6の形状を板状にする。【効果】電極を薄い板状にすることで、複数の放電が起き、初期電子数が多くなったため、安価で出力電圧が低いイグナイタでも確実に点火し、誘導結合プラズマを生成できる。

Claim (excerpt)：

高周波電力を発生する高周波発生部,ガスを流すトーチ管、当該トーチ管の周囲に配置される出力コイル,放電するための電圧を発生するイグナイタ、当該イグナイタからの電圧が印加される高電圧側電極を備えた誘導結合プラズマ発生装置において、前記高電圧側電極の形状を板状にしたことを特徴とする誘導結合プラズマ発生装置。

IPC (3)：

G01N 21/73 ,  G01N 27/62 ,  H05H 1/26

FI (3)：

G01N 21/73 ,  G01N 27/62 G ,  H05H 1/26

F-Term (4)：

2G043EA08 ,  2G043GA10 ,  2G043GB05 ,  2G043MA11