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J-GLOBAL ID：200903003713754000

画像測定装置

Inventor： 荒巻 徹
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 特許業務法人湘洋内外特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004355217
Publication number (International publication number)：2006162462
Application date： Dec. 08, 2004
Publication date： Jun. 22, 2006
Summary：

【課題】 測定の精度を落とすことなく、測定時間を短縮化する。【解決手段】 被検物Mの像を取得する4台の撮像装置20と、4台の撮像装置20の各撮像領域よりも広い視野で、被検物Mからの光を結像させる共焦点光学系10と、共焦点光学系10の光路を変える3枚のミラー31と、各ミラー31をそれぞれ共焦点光学系10の光軸上に位置している光路変更位置と、この光軸から退避している退避位置とに移動させるミラー移動源32と、を備えている。各ミラー31をそれぞれ退避位置と光路変更位置とに移動させて、共焦点光学系10の視野のうちの互いに異なる領域の像を順次複数の4台の撮像装置20に導く。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

それぞれが被検物の異なる領域の画像を取得する複数の画像取得手段と、 前記複数の画像取得手段により取得された複数の画像に基づいて、前記被検物の測定を行う測定手段と、 前記複数の画像取得手段のそれぞれが取得する各画像の領域よりも広い視野で、前記被検物からの光を結像させる光学系と、 前記光学系により前記被検物からの光が結像される面と該光学系との間の光路中に設けられ、該光路を変更する光路変更手段と、 前記複数の画像取得手段と前記光路変更手段とのうち、少なくとも一方を順次移動させて、前記被検物からの光を前記複数の画像取得手段のそれぞれに導く移動手段と、 を備えていることを特徴とする画像測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/02 ,  H01L 23/12

FI (2)：

G01B11/02 H ,  H01L23/12 501Z

F-Term (16)：

2F065AA01 ,  2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA24 ,  2F065FF10 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL62 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 高さ測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-029836   Applicant：オリンパス光学工業株式会社