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J-GLOBAL ID：200903003731398377

感光性ペースト

Inventor： 矢作 公
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (3)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003043877
Publication number (International publication number)：2004177921
Application date： Feb. 21, 2003
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：

【課題】焼成前後でのパターンサイズの変化が小さい隔壁を製造し得る感光性ペーストを提供する。【解決手段】[1]アルカリ可溶性ポリオルガノシロキサン樹脂組成物と、無機粒子とを含有してなる感光性ペースト。[2]さらに、硼酸又はその誘導体を含有してなる[1]記載の感光性ペースト。[3]さらに、電磁線または熱により酸を発生する化合物を含有してなる[1]〜[3]記載の感光性ペースト。[4]アルカリ可溶性ポリオルガノシロキサン樹脂組成物が、下記式(A)および(B)を含有してなる[1]〜[4]記載の感光性ペースト。(A)オキシラニル基およびオキセタニル基からなる群から選ばれる少なくとも一種の官能基を含むポリオルガノシロキサン樹脂。(B)水酸基を有するポリオルガノシロキサン樹脂。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性ポリオルガノシロキサン樹脂組成物と、無機粒子とを含有してなることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (6)：

G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/032 ,  H01J9/02 ,  H01J11/02 ,  H01J17/04

FI (8)：

G03F7/075 521 ,  G03F7/075 511 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/032 ,  H01J9/02 F ,  H01J11/02 B ,  H01J17/04

F-Term (30)：

2H025AA03 ,  2H025AB14 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BD23 ,  2H025BD25 ,  2H025BD55 ,  2H025BE00 ,  2H025CB33 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  5C027AA09 ,  5C040FA10 ,  5C040GF18 ,  5C040GF19 ,  5C040JA02 ,  5C040JA15 ,  5C040JA21 ,  5C040KA08 ,  5C040KA14 ,  5C040KA16 ,  5C040KB11 ,  5C040KB28 ,  5C040KB29 ,  5C040LA17 ,  5C040MA24