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J-GLOBAL ID：200903003735550076
赤外線センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松本 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992277575
Publication number (International publication number)：1994129898
Application date： Oct. 15, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：
【要約】【目的】 薄膜抵抗体を用いた赤外線センサにおいて、赤外線の検出感度を大幅に向上させて、各種の用途に好適に採用できる赤外線センサを提供する。【構成】 基板10に中空状態で支持された熱絶縁膜20の上に、一対の電極30、30を有する抵抗体層40からなる赤外線検出部を備え、前記基板10がパッケージ内に封入されてなる赤外線センサにおいて、パッケージの内部空間が、1Torr以下の減圧状態であることにより、赤外線検出部から周囲の気体を介してパッケージの構造部分に熱が伝わるのを阻止し、赤外線センサの感度を向上させる。
Claim (excerpt)：
基板に中空状態で支持された熱絶縁膜の上に、一対の電極を有する抵抗体層からなる赤外線検出部を備え、前記基板がパッケージ内に封入されてなる赤外線センサにおいて、パッケージの内部空間が、1Torr以下の減圧状態であることを特徴とする赤外線センサ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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