Pat
J-GLOBAL ID：200903003753640031

基板搬送台車及び基板搬送システム

Inventor：
宮園 直之

About 宮園 直之

, 
中島 洋一郎

About 中島 洋一郎

, 
大坪 栄一郎

About 大坪 栄一郎

, 
笹川 英四郎

About 笹川 英四郎


Applicant, Patent owner：
三菱重工業株式会社

About 三菱重工業株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001335803
Publication number (International publication number)：2003137427
Application date： Oct. 31, 2001
Publication date： May. 14, 2003
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 搬送中に基板の揺れを抑制することができる基板搬送台車を提供する。【解決手段】 本体フレーム61と、軌条に沿って本体フレームを走行可能に支持し、軌条の不連続部を通過するときに発生する衝撃を緩和するための緩衝機構を有する複数の車輪66a,66b,66cと、本体フレーム上において基板の重量を受け止めるために基板を斜め直立姿勢で支持するとともに、基板の外周端縁部を拘束又は半拘束の状態で保持するための複数の保持爪71,72,73を有する複数の支持アーム7と、搬送路上部の両側に設けられた規制手段と干渉し、軌条の不連続部を通過するときに発生する基板上部の揺れ動きを抑制するガイドピース79とを具備する。
Claim 1：
本体フレームと、軌条に沿って本体フレームを走行可能に支持し、軌条の不連続部を通過するときに発生する衝撃を緩和するための緩衝機構を有する複数の車輪と、前記本体フレーム上において基板の重量を受け止めるために基板を斜め直立姿勢で支持するとともに、基板の外周端縁部を拘束又は半拘束の状態で保持するための複数の保持爪を有する複数の支持アームと、搬送路上部の両側に設けられた規制手段と干渉し、軌条の不連続部を通過するときに発生する基板上部の揺れ動きを抑制するガイドピースと、を具備することを特徴とする基板搬送台車。
IPC (7)：
B65G 49/06 ,  B61B 13/00 ,  B61B 13/02 ,  B61D 27/00 ,  B61F 5/06 ,  B61F 5/24 ,  H01L 21/68
FI (10)：
B65G 49/06 Z ,  B61B 13/00 A ,  B61B 13/02 C ,  B61D 27/00 S ,  B61F 5/06 ,  B61F 5/24 A ,  B61F 5/24 B ,  B61F 5/24 C ,  B61F 5/24 F ,  H01L 21/68 A
F-Term (21)：
5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA18 ,  5F031GA13 ,  5F031GA14 ,  5F031GA32 ,  5F031GA35 ,  5F031GA57 ,  5F031HA12 ,  5F031HA37 ,  5F031HA45 ,  5F031HA57 ,  5F031LA12 ,  5F031LA14 ,  5F031LA15 ,  5F031MA03 ,  5F031MA28 ,  5F031NA07 ,  5F031PA20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM